鈦蝕刻液(Titanium Etchant)

鈦蝕刻添加劑為雙氧水系統下只對鈦金屬進行蝕刻之添加劑,藥水不含氟鹽化合物、氫氟酸,製程廢液容易處理。用於鈦表面處理製程,對於鈦金屬具有蝕刻性,相對其側蝕有較低之傷害。

操作建議:

操作參數 浸泡式作業
雙劑型藥劑 A劑 : B劑 = 1:1
作業溫度(℃) 20~30
蝕刻速度 5~10 Å/sec

成果:

鈦鎢蝕刻液成果
鈦鎢蝕刻液成果2
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