銀蝕刻液(Silver Etchant)

為硝酸系統下只對銀金屬表面進行蝕刻,用於銀表面處理製程,相對於鎳與鈦金屬具選擇性蝕刻之效能,並於蝕刻過程不損傷光阻。

操作建議:

操作參數 浸泡式作業
單劑型藥劑 直接浸泡使用
作業溫度(℃) 20~30
蝕刻速度 130~140 Å/sec
銀金屬腐蝕率 0.1~1 Å/sec
鈦金屬腐蝕率 < 0.1 Å/sec

成果:

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