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鐵銹轉化劑。
磷酸可作為鐵銹轉化劑的成分,磷酸可將紅棕色的Fe2O3轉為黑色的FePO4,予以剝除後可露出新的金屬面,也可暫不進行剝除,讓他作為金屬面的保護層,防止其進一步的氧化。
作為銅電鍍拋光的電解液。
在半導體製程當中,磷酸可做為蝕刻的溶劑。
蝕刻氮化矽,磷酸可將Si3N4轉化為SiO2。
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