| 有機鹼 | 有機酸 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 類別 | NMP系列 | DMSO系列 | Non-NMP &DMSO系列 | Non-TMAH系列 | ABS系列 |
| 正型光阻 | V | V | V | V | V |
| 負型光阻 | V | V | V | V | V |
| 乾膜光阻 | V | V | |||
| 與金屬相容 | V | V | V | V | V |
| 對PI/PBO 相容 | V | V | V | ||
| 與III-V族相容 | V | V | V | V | |
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